中化新網訊 3月3日,由中國化學品安全協會組織中國氟硅有機材料工業協會、四川永祥股份有限公司、江蘇中能硅業科技發展有限公司、新疆大全新能源股份有限公司、合盛硅業股份有限公司等單位編寫的團體標準《三氯氫硅還原法多晶硅生產安全技術規范》(T/CCSAS 052—2025)(簡稱《規范》)發布實施。
該標準結合國內外相關法規標準、行業實踐經驗以及技術發展現狀,圍繞三氯氫硅還原法多晶硅生產的全流程,從設計與總圖布局、生產過程安全、廢氣淋洗等方面提出具體要求,旨在為多晶硅生產企業提供科學、系統的安全管理指導,降低生產過程中的安全風險,提升行業整體安全水平。
當前,光伏產業快速發展,作為太陽能電池的核心材料,多晶硅的需求量持續增長。三氯氫硅還原法是目前主流的硅材料生產技術之一,但因其工藝復雜,生產過程伴隨高溫、高壓、腐蝕等工藝條件,存在較高的安全風險。
三氯氫硅還原法生產多晶硅過程中涉及氫氣、氯化氫、三氯氫硅、四氯化硅等易燃易爆、腐蝕性物料。氯化氫遇水會形成強腐蝕性的鹽酸,氯硅烷出現泄漏遇水時也會水解生成氯化氫,有很強的腐蝕性。此外,多晶硅生產過程中還涉及氫氣和硅粉粉塵,氫氣與空氣混合能形成爆炸性混合物,遇熱或者明火則會發生爆炸,硅粉與空氣接觸時也容易發生粉塵爆炸。
近年來,國內外多晶硅生產企業因安全管理不到位導致的事故屢見不鮮,制定一套針對三氯氫硅還原法多晶硅生產的安全技術規范,成為行業的迫切需求。
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